德國SIOS SP 5000 DI/F超穩定緊湊型光學差分激光干涉儀的簡介：
超穩定、緊湊的SP 5000 DI/F 差分干涉儀專為必須長時間執行高度穩定的長度測量的應用而設計。緊湊的傳感器設計即使在狹窄的空間內也能實現長期穩定的調整和放置，因此精密測量系統非常適合用作閉環控制回路的激光尺。應用需要一個外部參考點，通常放置在測量范圍的中間，以實現的測量值穩定性。干涉儀的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也可實現亞納米范圍內的長度分辨率?？梢院苋菀椎剡M行幾米的測量，因此可以使用 SP 系列的反射器。
激光干涉儀以光波為載體，利用激光作為長度基準，是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。

德國SIOS SP 5000 DI/F超穩定緊湊型光學差分激光干涉儀的特點：
最高精度的差分長度或角度測量
通過差分測量將環境影響降至較低
熱超穩定傳感器設計，溫度靈敏度 < 10 nm/K
可以使用各種光學反射器，例如球面、平面鏡反射器
測量反射器的大傾斜不變性
緊湊而堅固的設計
標配不銹鋼傳感器頭設計
光束距離：14 毫米
可以提供 OEM 版本、OEM 軟件和真空版本
可用作具有可選接口的反饋系統
廣泛的觸發選項